一、配氣儀操作規范

 

　　操作前需做好全面準備。首先要檢查設備狀態，確認配氣儀的閥門、管路、密封件無破損、泄漏，壓力傳感器、流量計等部件校準合格且在有效期內。同時，根據配制需求準備符合純度要求的原料氣體，氣瓶需固定牢固，減壓閥選型匹配且無銹蝕、泄漏，開啟氣瓶時需緩慢操作，排出管路內殘留空氣。環境方面，操作區域需通風良好、遠離火源與熱源，配備相應的氣體檢測報警儀和應急防護設備，操作人員需穿戴防靜電服、防護眼鏡等個人防護裝備。

 

　　操作過程中需嚴格遵循流程。按照配氣方案設定氣體配比、壓力、流量等參數，確認參數無誤后啟動設備，初始階段需低速運行，觀察管路是否有泄漏、壓力是否穩定。配制過程中實時監控各參數變化，嚴禁超壓、超流量運行，若出現異常需立即停機泄壓，排查故障后再重新啟動。更換氣體種類時，必須對管路進行吹掃，避免不同氣體殘留混合引發反應，吹掃后需通過氣體檢測確認管路內無殘留雜質。

 

　　操作完成后需做好收尾工作。關閉原料氣瓶閥門，排空配氣儀管路內剩余氣體，按照操作規程關閉設備電源。及時清理操作區域，記錄配氣參數、氣體種類、配制時間等信息，建立設備使用臺賬，定期進行維護保養，包括清潔管路、更換密封件、校準檢測部件等。

 

　　二、氣體相容性關鍵原則

 

　　氣體相容性需遵循“分類存放、避免反應”的核心原則。首先要明確氣體的化學性質，氧化性氣體（如氧氣、氯氣）與還原性氣體（如氫氣、甲烷）嚴禁混合配制或共用管路，兩者接觸可能發生燃燒、爆炸反應。酸性氣體（如氯化氫、二氧化硫）與堿性氣體（如氨氣、三甲胺）不能共存，否則會產生腐蝕性物質，損壞設備管路并導致氣體純度下降。

 

　　特殊氣體需單獨管控。氣體（如乙烯、丙烷）配制時，操作區域需嚴禁明火，設備需具備防靜電功能，管路需采用防爆設計；有毒氣體（如一氧化碳、硫化氫）必須在通風櫥內操作，操作人員需佩戴防毒面具，配備應急藥劑；腐蝕性氣體（如氟氣、氯氣）需使用耐腐材質的管路和閥門，定期檢查密封性能，防止泄漏腐蝕。

 

　　此外，氣體與設備材質的相容性也不容忽視。部分氣體（如氟氣、氯氣）對普通金屬材質有腐蝕性，需選用蒙乃爾合金、聚四氟乙烯等耐腐材質；氧氣與油脂接觸會引發燃燒，接觸氧氣的設備部件需嚴格脫脂處理，嚴禁使用含油潤滑劑。